Fotolitografi
365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası
Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.[1] Öözellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
Kaynakça
Dış bağlantılar
- BYU Photolithography Resources
- Semiconductor Lithography — Overview of lithography
- Optical Lithography Introduction — IBM site with lithography-related articles
- Immersion Lithography Article — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography
This article is issued from Vikipedi - version of the 1/1/2017. The text is available under the Creative Commons Attribution/Share Alike but additional terms may apply for the media files.