Mikrofabrikasyon
Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçekli yapılar üzerinde çalışan bir üretim tekniğidir. İlk örnekleri tümleşik devreler üzerinde uygulanan teknik "yarı iletken aygıt üretimi" olarak da adlandırılmaktadır. Nanometre ölçeğinde çalışan mikro elektro-mekanik sistemler üzerindeki araştırmalar da mikrofabrikasyon tekniğinin gelişimini hızlandırmıştır.
This article is issued from Vikipedi - version of the 7/20/2013. The text is available under the Creative Commons Attribution/Share Alike but additional terms may apply for the media files.