Mikrofabrikasyon

Dört katmandan oluşan bir tümleşik devre

Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçekli yapılar üzerinde çalışan bir üretim tekniğidir. İlk örnekleri tümleşik devreler üzerinde uygulanan teknik "yarı iletken aygıt üretimi" olarak da adlandırılmaktadır. Nanometre ölçeğinde çalışan mikro elektro-mekanik sistemler üzerindeki araştırmalar da mikrofabrikasyon tekniğinin gelişimini hızlandırmıştır.

This article is issued from Vikipedi - version of the 7/20/2013. The text is available under the Creative Commons Attribution/Share Alike but additional terms may apply for the media files.